藍寶石襯底片翹曲度試驗

1、接觸式測試
將藍寶石襯底片置放在基準環的3個支點上，3支點形成一個基準平面，利用低壓力位移指示器沿規定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離，記錄成對位移指示器的讀數并求其差值，針對一系列成對數值的差值取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
2、非接觸式測試
將藍寶石襯底片置放在基準環的3個支點上，3支點形成一個基準平面，利用非接觸式位移傳感器沿規定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離，記錄成對位移指示器的讀數并求其差值，針對一系列成對數值的差值，取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
3、白光干涉式測試
激光照射藍寶石襯底片表面，光經過反射相互疊加干涉，干涉圖經光學成像系統記錄，開始高低形貌測量；物鏡在Z軸方向上不斷微小的移動，在每個移動位置上，光學成像系統進行拍照收集圖片，形成整個三維形貌數據。經信號處理系統后得到襯底片的翹曲度。

LED用襯底材料一般有藍寶石襯底、碳化硅襯底及硅襯底三種，其中藍寶石襯底應用最廣泛，因為其加工方法以及加工成本等與其他兩種相比較都有不小的優勢。
雖說在晶格匹配上面是氮化家襯底砷化該襯底最為匹配，但其生產加工方法要比碳化硅及硅等都更難上加難。 藍寶石襯底片翹曲度試驗可測定藍寶石切割片、研磨片、拋光片的翹曲度。
健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種藍寶石襯底片的力學試驗能力，為藍寶石襯底片提供專業的翹曲度力學試驗服務。

健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種藍寶石襯底片的力學試驗能力，為藍寶石襯底片提供專業的翹曲度力學試驗服務。

GB/T 31352-2014 藍寶石襯底片翹曲度測試方法
GB/T 2828.1計數抽樣檢驗程序 第1部分：按接收質量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃
GB/T 6620硅片翹曲度非接觸式測試方法
GB/T14264 半導體材料術語

適用于直徑50.8 mm~304.8 mm，厚度為不小于200 μm的藍寶石襯底片。